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Warum werden bei der Metallätztechnik Fotomasken benötigt?
如同半導體元件製造的微影製程(photolithography),金屬蝕刻製程也需要使用(鹵化銀)底片來當作遮罩(光罩),利用UV曝光到光阻上做影像轉移。被底片遮蔽的光阻,因為沒有受到UV曝光, 因此會被後續的顯影製程清洗掉。光阻被顯影而裸露的不鏽鋼,因為失去光阻的保護,會被蝕刻液腐蝕,而完成蝕刻加工程序。
精密金屬蝕刻是甚麼?
金屬蝕刻稱為光化學加工(PCM)、光化學銑削或光蝕刻。精密金屬蝕刻製程使用微影技術(photolithography),讓附著在金屬表面上的光阻,經過UV曝光並顯影掉被光罩阻擋未曝光的部分,留下未受保護的蝕刻區域。 接下來,使用蝕刻液與未受保護的金屬發生氧化還原反應,透過不斷腐蝕,直到工件尺寸達到公差之內。完成蝕刻的金屬板,再進行清洗、去光阻、烘乾,最終得以製造出薄鈑金零件。
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