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金屬蝕刻製程為什麼需要底片(光罩)?
如同半導體元件製造的微影製程(photolithography),金屬蝕刻製程也需要使用(鹵化銀)底片來當作遮罩(光罩),利用UV曝光到光阻上做影像轉移。被底片遮蔽的光阻,因為沒有受到UV曝光, 因此會被後續的顯影製程清洗掉。光阻被顯影而裸露的不鏽鋼,因為失去光阻的保護,會被蝕刻液腐蝕,而完成蝕刻加工程序。
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